申 请 号：2019209178169 专利名称：一种半导体生产蚀刻加工设备

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申 请 号：2019210240404专利名称：一种基于晶圆传送用机械臂

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计算机软件著作权登记证书

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计算机软件著作权登记证书

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计算机软件著作权登记证书

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