CN EN

SINO Plasma 200 UV固胶机

 
机台介绍
SINO-Plasma 200 UV固胶机是邑文自主研发单腔体UV固胶设备,配置高精度传送手臂,高精度控温热板模块。基于Windows平台自主开发的操作系统,大尺英寸液晶触摸面板,人机交换界面简单便捷。设备具有占用空间小,耗材及运营成本低等优点。适用于半导体各段UV固胶工艺。

应用领域
· 4英寸~8英寸硅基半导体生产线
· 4英寸~6英寸碳化硅、氮化镓、砷化镓等产线的UV固胶应用

产品优势
· 高精度传送平台
· 良好的编程设计,各位置互锁及产品保护
· 大尺英寸触摸屏人机交换界面,可视化操作
· 准确的温度控制
· 反应腔套件损耗及维护成本低
· 可提供多种新工艺开发及解决方案

主要技术参数
Equipment Availability / Uptime:≥95
WPH:>80
Heater Temperature Control:±2°C of setpoint
Irradiation intensity:275+-45 MW/ CM2 、105+-30 MW /CM²


返回上级+