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SINO Plasma100 UV

发布时间：2022/12/01 15:47:22

工艺应用
光刻胶固化，粘合剂固化


晶圆尺寸
8寸及以下


适用衬底材料
硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、蓝宝石、石英玻璃


产能
WPH：30



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