工艺应用
科研验证，转小批量生产与试产

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晶圆尺寸
8寸及以下

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沉积材料
氧化物：Al2O3, AlxTiyOz, HfO2, In2O3, MgO, SiO2, SrTiOx, Ta2O5, TiO2, Y2O3, ZnO, ZnO:Al, ZrO2, La2O3, CeO2, …
氮化物：AlN, TiAlCN, TiN, TaNx, …
金属：Cu，Co，Ir, Pd, Pt, Ru, …

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应用领域
Mini LED﹑Micro LED﹑UVC LED与车用户外照明LED，光学镜头（需要做叠层），AR光栅，MEMS传感器，SAW&BAW滤波器。